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Newview 9000 三维非接触式表面形貌仪

三维非接触式表面形貌仪是目前用在科学研究和工业领域先进的表面轮廓测量设备,采用目的白光干涉原理(性能优于激光干涉轮廓仪与激光共聚焦显微镜)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。

详情介绍


产品特点

1. 1.NewView™ 9000 系列的 3D 光学表面轮廓仪可以提供多功能的非接触式光学表面形貌测量分析。其测量都无损、迅速,且不需要样品制备。分析软件描绘和定量分析表面粗糙度、台阶高度、关键尺寸和其它形貌特征。

2. 对于各种表面结构,放大倍率及零件高度,可以实现小于纳米到 20000 微米范围的测量,可测量各种材质表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和台阶面等。

3. NewView 9000 系列提供三种配置。带 3 个目镜切换器的NewView 9000 系统。

技术参数

垂直扫描范围 
150um 压电陶瓷驱动,20mm 扩展扫描
重复性
<0.08nm 
RMS 重复性
0.008nm
横向分辨 
空间采样
0.34um(100X 物镜)  
0.04um(100x 物镜,2 倍zoom) 
扫描速度
171um/s 
台阶测量 
线性度
重复性 ≤ 0.1% 
小于 20nm 或者 0.1%  


测试软件

图片11214.png典型的 MX 数据分析界面

产品应用

1.测量次纳米表面形貌
2.机械加工中的应用

测试实例

1.表面粗糙度测量

1211.png

2.更快的拼接大尺寸样品平面度

1212.png

3.区域分析

1213.png

4.微观表面结构分析

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5.划痕分析
1114.png


产品资料下载

产品介绍-Newview9000

美国ZYGO公司三维非接触式表面轮廓仪-NexviewNX2

ZYGO-Verifire_MST_Brochure

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